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高真空磁控濺射系統(tǒng)一套（ZBZXHB****）采購公告
| 項目名稱 | 高真空磁控濺射系統(tǒng)一套 | 項目編號 | ZBZXHB**** |
| 公告開始日期 | ****-**-** 14:***:*** | 公告截止日期 | ****-**-** 15:***:*** |
| 采購單位 | 四川大學(xué) | 付款方式 | 請查看比選文件 |
| 聯(lián)系人 | 成交后在我參與的項目中查看 | 聯(lián)系電話 | 成交后在我參與的項目中查看 |
| 簽約時間要求 | 成交后3日內(nèi) | 到貨時間要求 | 合同簽訂后150個日歷日內(nèi) |
| 預(yù)算總價 | 99 ****** 0 | 發(fā)票要求 | |
| 收貨地址 | 望江校區(qū)第一理科樓樓中124 房間 | 供應(yīng)商資質(zhì)要求 | 符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件 |
| 公告說明 | |||
| 采購商品 | 采購數(shù)量 | 計量單位 | 所屬分類 |
| 高真空磁控濺射系統(tǒng) | 1 | 臺 | 其他試驗儀器及裝置 |
| 品牌 | - | ||
| 型號 | - | ||
| 預(yù)算單價 | 99 ****** 0 | ||
| 技術(shù)參數(shù)及配置要求 | 該設(shè)備具有可控制的磁場、穩(wěn)定的氬氣控制方案，主要用于在超高真空環(huán)境中制備單層、多層薄膜，主要為多層金屬薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體材料薄膜、氧化物薄膜等；濺射方式主要有直流濺射以及射頻濺射。 一、真空系統(tǒng)：***.▲超高真空304不銹鋼圓柱體反應(yīng)腔體，尺寸不小于450mm高×350mm直徑；腔體頂部采用橡膠圈密封，底部采用金屬密封；采用前開門設(shè)計，方便打開腔體；主腔體配備不少于1個6英寸觀察窗，帶手動擋板； 2.★極限真空度：***×10－5Pa； 3.恢復(fù)真空時間：***×10－3Pa≤15min； 4.保真空：***，關(guān)閉高真空閥一小時，真空室真空度≤7×10-1Pa； 5.▲電動蝶閥采用伺服控制，用于自動恒真空系統(tǒng)，使濺射使真空保持恒定。 6.★真空系統(tǒng)配置：***，配軟抽閥及軟放閥(可減少真空室排大氣時湍流對工件的影響), 管道通徑為16mm，真空系統(tǒng)管道采用不銹鋼材料，管道軟連接處采用金屬波紋管；各真空閥門為氣動閥門。 二、工藝能力：***.制造商需要配合用戶做工藝設(shè)計和工藝參數(shù)調(diào)整； 2.★制造商需具備一定的技術(shù)基礎(chǔ)與工藝能力，采用磁控濺射單一技術(shù)， 制備Ni金屬單質(zhì)薄膜，厚度≥300nm，基底尺寸要求＞φ50mm，基底材質(zhì)為PI基材），并在投標時提供樣品的測試數(shù)據(jù)（附在投標文件中）。要求樣品肉眼觀察無明顯裂紋，背面用光源照射時也不會出現(xiàn)明顯裂紋。 3.▲根據(jù)工藝要求，設(shè)備成膜均勻性最優(yōu)可達（SiO2）：±1.5% @ 200mm基片（去除邊緣5mm）； 三、樣品臺系統(tǒng)：***.★樣品臺具備濺射4英寸基片的能力并向下兼容，安裝在真空腔頂部，向上濺射，樣品臺配置最高溫度不低于800℃，加熱系統(tǒng)采用控溫精度±1℃； 2.▲樣品臺可調(diào)工作距離不少于70mm，鋁合金材質(zhì)； 3.工件轉(zhuǎn)動的動密封為磁流體密封，工件盤軸向、徑向跳動≤±2.5%； 四、電源和靶系統(tǒng)：***.★主腔室底部配置不少于3套4英寸（使用直徑4英寸的靶材）靶槍； 2.所有靶槍均配備獨立的氣動擋板和套筒，防止靶材交叉污染； 3.所有靶槍適應(yīng)直流電源或射頻電源工作模式； 4.★靶槍電源包括：***，帶專用4路切換器，通過切換器，其中1個直流電源可連接4個靶槍，通過電腦控制切換給不同靶槍供電；不少于1套功率600W射頻電源，帶自動匹配網(wǎng)絡(luò)及輸出電纜； 五、電控系統(tǒng)：***.▲控電柜采用一體式，儀表安裝柜采用非標準英尺寸，另一側(cè)作為電器元件安裝柜結(jié)構(gòu)為大板式，便于安裝維護，元器件損壞時應(yīng)易于檢測和更換； 2.★配不小于15寸觸摸屏控制功能，具有良好的人機界面與操作功能，可實現(xiàn)濺射鍍膜過程全自動化控制，從排氣到濺射鍍膜結(jié)束整個過程一鍵式自動控制，安全連鎖的操作系統(tǒng)； 3.控電柜內(nèi)主要電器外購件均選用通過CE認證或ISO9001認證的生產(chǎn)廠商的產(chǎn)品，確保安全可靠。 六、樣品處理裝置 1. 加熱板材質(zhì)：***. 攪拌速度：***-1500rpm 3. 溫度范圍：***-320℃ 4. 具備計時功能 5. 具備自動反轉(zhuǎn)功能 七、配置清單 1. 真空腔體1套； 2. 分子泵和直聯(lián)泵各1套； 3. 射頻電源2套，直流電源1套； 4. 電控一體機1套； 5. 冷卻循環(huán)水1套； 6. 樣品處理裝置1套； 7. 滿足招標要求的其他配置； | ||
| 售后服務(wù) | 服務(wù)年限:***;電話支持:***;商品承諾:***;質(zhì)保期:***; | ||
信息來源：***://www.****.cn/publish/****-**-**/20MCX0R6P1U3KVSY.shtml
