高真空磁控濺射系統(tǒng)一套(ZBZXHB****)采購公告
項目名稱 | 高真空磁控濺射系統(tǒng)一套 | 項目編號 | ZBZXHB**** |
公告開始日期 | ****-**-** 14:***:*** | 公告截止日期 | ****-**-** 15:***:*** |
采購單位 | 四川大學(xué) | 付款方式 | 請查看比選文件 |
聯(lián)系人 | 成交后在我參與的項目中查看 | 聯(lián)系電話 | 成交后在我參與的項目中查看 |
簽約時間要求 | 成交后3日內(nèi) | 到貨時間要求 | 合同簽訂后150個日歷日內(nèi) |
預(yù)算總價 | 99 ****** 0 | 發(fā)票要求 | |
收貨地址 | 望江校區(qū)第一理科樓樓中124 房間 | 供應(yīng)商資質(zhì)要求 | 符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件 |
公告說明 |
采購商品 | 采購數(shù)量 | 計量單位 | 所屬分類 |
高真空磁控濺射系統(tǒng) | 1 | 臺 | 其他試驗儀器及裝置 |
品牌 | - | ||
型號 | - | ||
預(yù)算單價 | 99 ****** 0 | ||
技術(shù)參數(shù)及配置要求 | 該設(shè)備具有可控制的磁場、穩(wěn)定的氬氣控制方案,主要用于在超高真空環(huán)境中制備單層、多層薄膜,主要為多層金屬薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體材料薄膜、氧化物薄膜等;濺射方式主要有直流濺射以及射頻濺射。 一、真空系統(tǒng):***.▲超高真空304不銹鋼圓柱體反應(yīng)腔體,尺寸不小于450mm高×350mm直徑;腔體頂部采用橡膠圈密封,底部采用金屬密封;采用前開門設(shè)計,方便打開腔體;主腔體配備不少于1個6英寸觀察窗,帶手動擋板; 2.★極限真空度:***×10-5Pa; 3.恢復(fù)真空時間:***×10-3Pa≤15min; 4.保真空:***,關(guān)閉高真空閥一小時,真空室真空度≤7×10-1Pa; 5.▲電動蝶閥采用伺服控制,用于自動恒真空系統(tǒng),使濺射使真空保持恒定。 6.★真空系統(tǒng)配置:***,配軟抽閥及軟放閥(可減少真空室排大氣時湍流對工件的影響), 管道通徑為16mm,真空系統(tǒng)管道采用不銹鋼材料,管道軟連接處采用金屬波紋管;各真空閥門為氣動閥門。 二、工藝能力:***.制造商需要配合用戶做工藝設(shè)計和工藝參數(shù)調(diào)整; 2.★制造商需具備一定的技術(shù)基礎(chǔ)與工藝能力,采用磁控濺射單一技術(shù), 制備Ni金屬單質(zhì)薄膜,厚度≥300nm,基底尺寸要求>φ50mm,基底材質(zhì)為PI基材),并在投標時提供樣品的測試數(shù)據(jù)(附在投標文件中)。要求樣品肉眼觀察無明顯裂紋,背面用光源照射時也不會出現(xiàn)明顯裂紋。 3.▲根據(jù)工藝要求,設(shè)備成膜均勻性最優(yōu)可達(SiO2):±1.5% @ 200mm基片(去除邊緣5mm); 三、樣品臺系統(tǒng):***.★樣品臺具備濺射4英寸基片的能力并向下兼容,安裝在真空腔頂部,向上濺射,樣品臺配置最高溫度不低于800℃,加熱系統(tǒng)采用控溫精度±1℃; 2.▲樣品臺可調(diào)工作距離不少于70mm,鋁合金材質(zhì); 3.工件轉(zhuǎn)動的動密封為磁流體密封,工件盤軸向、徑向跳動≤±2.5%; 四、電源和靶系統(tǒng):***.★主腔室底部配置不少于3套4英寸(使用直徑4英寸的靶材)靶槍; 2.所有靶槍均配備獨立的氣動擋板和套筒,防止靶材交叉污染; 3.所有靶槍適應(yīng)直流電源或射頻電源工作模式; 4.★靶槍電源包括:***,帶專用4路切換器,通過切換器,其中1個直流電源可連接4個靶槍,通過電腦控制切換給不同靶槍供電;不少于1套功率600W射頻電源,帶自動匹配網(wǎng)絡(luò)及輸出電纜; 五、電控系統(tǒng):***.▲控電柜采用一體式,儀表安裝柜采用非標準英尺寸,另一側(cè)作為電器元件安裝柜結(jié)構(gòu)為大板式,便于安裝維護,元器件損壞時應(yīng)易于檢測和更換; 2.★配不小于15寸觸摸屏控制功能,具有良好的人機界面與操作功能,可實現(xiàn)濺射鍍膜過程全自動化控制,從排氣到濺射鍍膜結(jié)束整個過程一鍵式自動控制,安全連鎖的操作系統(tǒng); 3.控電柜內(nèi)主要電器外購件均選用通過CE認證或ISO9001認證的生產(chǎn)廠商的產(chǎn)品,確保安全可靠。 六、樣品處理裝置 1. 加熱板材質(zhì):***. 攪拌速度:***-1500rpm 3. 溫度范圍:***-320℃ 4. 具備計時功能 5. 具備自動反轉(zhuǎn)功能 七、配置清單 1. 真空腔體1套; 2. 分子泵和直聯(lián)泵各1套; 3. 射頻電源2套,直流電源1套; 4. 電控一體機1套; 5. 冷卻循環(huán)水1套; 6. 樣品處理裝置1套; 7. 滿足招標要求的其他配置; | ||
售后服務(wù) | 服務(wù)年限:***;電話支持:***;商品承諾:***;質(zhì)保期:***; |
信息來源:***://www.****.cn/publish/****-**-**/20MCX0R6P1U3KVSY.shtml